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  P-6探針式輪廓儀是 KLA-Tencor公司設(shè)計制造的一種測量物體表面形貌（輪廓、階高、粗糙度等）的設(shè)備。通過儀器的觸針與被測表面的滑移進行測量，是接觸式測量。其主要優(yōu)點是可以直接測量某些其他方法難以測量到的器件表面，如凹槽、孔等等。

  得益于KLA-Tencorg公司強大的技術(shù)能力，P-6探針式輪廓儀具有低噪高質(zhì)、高分辨率、長距掃描等顯著優(yōu)勢。其主要測量應(yīng)用包括：薄膜厚度及粗糙度、光刻膠或軟性薄膜測量、刻蝕槽深度、器件表面曲率及形狀、應(yīng)力、平坦度等。憑借其強大的應(yīng)用能力，P-6在半導(dǎo)體領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。