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  VR200型薄膜電阻測試儀是一個直流方式的四探針電阻測量系統(tǒng)，既可以測量硅片的電阻率或薄膜電阻，也可以測量經(jīng)過如離子植入、外延生長、擴散等常用半導體工藝之后薄膜電阻，同樣也可測量導電層，包括磁性膜的薄膜電阻值。設備的自帶軟件可以將測量數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成輪廓圖或3-D圖，以非常直觀的方式方便使用者查看電阻數(shù)據(jù)的分布。