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多維科技擁有三臺(tái)磁性隧道結(jié)納米真空鍍膜機(jī)，分別為MDT-1，MDT-2，MDT-3。上圖為MDT-1。 

  MDT-1：高真空磁控濺射鍍膜機(jī)，能進(jìn)行8寸晶圓薄膜金屬加工，其最薄厚度能至埃米級(jí)別，且能鍍膜10種不同金屬和非金屬材料，多達(dá)100層金屬薄膜，該系統(tǒng)擁有700℃以上的溫度能力。

  MDT-2：高真空磁控濺射鍍膜機(jī)，能進(jìn)行8寸晶圓薄膜金屬加工，其最薄厚度能至埃米級(jí)別，且能鍍膜10種不同金屬和非金屬材料，多達(dá)100層金屬薄膜。

  MDT-3：高真空磁控濺射鍍膜機(jī)，能進(jìn)行12寸晶圓薄膜金屬加工，其最薄厚度能至埃米級(jí)別，且能鍍膜10種不同金屬和非金屬材料，多達(dá)100層金屬薄膜。