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Metalization PVD (ULVAC PVD)

可以鍍膜多種金屬粘附層，種子層，導(dǎo)線層

IBD

實(shí)現(xiàn)納米到亞微米級(jí)別金屬膜和介質(zhì)膜的沉積，并與 IBE 配套使用

ALD

可以在 150℃ - 275℃ 溫度區(qū)間實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)別介質(zhì)膜沉積，膜厚一致性在 1% 以下

EVD

電子束蒸發(fā)鍍膜，實(shí)現(xiàn)微米級(jí)別介質(zhì)膜的沉積，膜厚一致性在 1% 以下

PE-CVD (Applied PECVD, ULVAC PECVD, PlasmaTherm PECVD)

支持 150°C - 400°C 之間的鈍化膜沉積

High Temperature Oxidation Oven (高溫氧化爐)

可以做 1200°C 熱氧化，1μm 左右氧化膜

Magnetic Annealing Furnace (5T)

高真空高溫磁場(chǎng)回火爐可以提供最高 500°C 高溫，最強(qiáng) 5T 磁場(chǎng)，真空可達(dá) -5Pa

多維科技建有國(guó)內(nèi)首條 8 英寸磁傳感器晶圓產(chǎn)線

多維科技xMR磁傳感器晶圓制造產(chǎn)線已運(yùn)營(yíng) 10 多年，建有國(guó)內(nèi)首條 8 英寸磁傳感器晶圓產(chǎn)線，年產(chǎn)能達(dá) 10 億顆芯片，配備了包含 xMR、退火、刻蝕、金屬互連、光刻、去膠等復(fù)雜晶圓制造工藝的先進(jìn)設(shè)備。多維科技晶圓制造產(chǎn)線的專業(yè)生產(chǎn)技術(shù)團(tuán)隊(duì)服務(wù)過多個(gè)磁傳感器晶圓制造項(xiàng)目，擁有豐富的磁傳感器晶圓制造技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)，可助力客戶產(chǎn)品快速進(jìn)入市場(chǎng)和提高產(chǎn)品迭代進(jìn)度。

多維科技提供全方位晶圓代工服務(wù)

多維科技向客戶提供全方位的 8 英寸 xMR 磁傳感器晶圓代工服務(wù)，包括磁傳感器晶圓研發(fā)量產(chǎn)及測(cè)試服務(wù)。多維科技晶圓制造技術(shù)可達(dá)行業(yè)高標(biāo)準(zhǔn)要求。晶圓測(cè)試服務(wù)包括晶圓測(cè)試程序開發(fā)，失效分析和可靠性測(cè)試等全面的測(cè)試服務(wù)。多維科技晶圓制造產(chǎn)線可根據(jù)客戶需求對(duì)生產(chǎn)工藝流程進(jìn)行快速優(yōu)化，從而為客戶提供高效的晶圓代工服務(wù)。

多維科技提供專業(yè)的設(shè)計(jì)和 IP 授權(quán)服務(wù)

多維科技晶圓代工設(shè)計(jì)服務(wù)可根據(jù)客戶需求，提供磁傳感器設(shè)計(jì)或輔助設(shè)計(jì)，包括掩膜版設(shè)計(jì)、磁器件仿真和工藝流程開發(fā)等各種晶圓代工設(shè)計(jì)服務(wù)。同時(shí)，為了向客戶提供更好的晶圓代工設(shè)計(jì)服務(wù)，多維科技還開放了知識(shí)產(chǎn)權(quán) (IP) 授權(quán)服務(wù)，客戶可根據(jù)設(shè)計(jì)需求將多維科技相關(guān)的 IP 整合進(jìn)自己的產(chǎn)品中，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品開發(fā)量產(chǎn)進(jìn)一步的降本增效。