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刻蝕
刻蝕

icon IBE

實現納米到亞微米級別金屬膜和介質膜的刻蝕,并與 IBD 配套使用

刻蝕
icon 反應離子刻蝕

dot  Lam 9600金屬刻蝕機 (Al, Ti, TiW, Ta, AlCu, AlSi 等金屬高垂直度刻蝕,配備去膠及清洗腔)

dot  TEL 雙腔鈍化膜刻蝕機臺 (雙刻蝕腔,可高速刻蝕 SiO2, SiN, DLC 等厚鈍化膜)

dot  Plasma-Therm ICP 刻蝕機 (單刻蝕腔,可控刻蝕速率刻蝕 DLC, SiO2, SiN, PI 等鈍化薄膜刻蝕)

dot  STS-HR 刻蝕機 (普通 Si 刻蝕,深硅刻蝕等)



IBD/IBE

IBD/IBE

plasma therm刻蝕機

Plasma therm 刻蝕機

lam9600 金屬刻蝕機

Lam9600 金屬刻蝕機
TEL DRM 氧化物刻蝕機




為什么選擇多維科技做為晶圓代工合作伙伴?

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多維科技建有國內首條 8 英寸磁傳感器晶圓產線

多維科技xMR磁傳感器晶圓制造產線已運營 10 多年,建有國內首條 8 英寸磁傳感器晶圓產線,年產能達 10 億顆芯片,配備了包含 xMR、退火、刻蝕、金屬互連、光刻、去膠等復雜晶圓制造工藝的先進設備。多維科技晶圓制造產線的專業(yè)生產技術團隊服務過多個磁傳感器晶圓制造項目,擁有豐富的磁傳感器晶圓制造技術和經驗,可助力客戶產品快速進入市場和提高產品迭代進度。

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多維科技提供全方位晶圓代工服務

多維科技向客戶提供全方位的 8 英寸 xMR 磁傳感器晶圓代工服務,包括磁傳感器晶圓研發(fā)量產及測試服務。多維科技晶圓制造技術可達行業(yè)高標準要求。晶圓測試服務包括晶圓測試程序開發(fā),失效分析和可靠性測試等全面的測試服務。多維科技晶圓制造產線可根據客戶需求對生產工藝流程進行快速優(yōu)化,從而為客戶提供高效的晶圓代工服務。


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多維科技提供專業(yè)的設計和 IP 授權服務

多維科技晶圓代工設計服務可根據客戶需求,提供磁傳感器設計或輔助設計,包括掩膜版設計、磁器件仿真和工藝流程開發(fā)等各種晶圓代工設計服務。同時,為了向客戶提供更好的晶圓代工設計服務,多維科技還開放了知識產權 (IP) 授權服務,客戶可根據設計需求將多維科技相關的 IP 整合進自己的產品中,實現產品開發(fā)量產進一步的降本增效。



磁傳感器晶圓制造工藝