Loop測試儀的特點:
(1)可以測量極薄的薄膜(埃米級別可以測量,比如厚度為3埃米的薄膜,沉積在18mm直徑的樣品可以分辨和測量),也可以測量大尺寸晶圓(最大直徑8英寸);
(2)大磁場,可以測量到15kOe;
(3)實時顯示和測量;
(4)高精度和高重復性。
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