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   X射線(xiàn)熒光光譜分析(X Ray Fluorescence，XRF)由激發(fā)源（X射線(xiàn)管）和探測(cè)系統(tǒng)構(gòu)成。X射線(xiàn)管產(chǎn)生入射X射線(xiàn)（一次X射線(xiàn)），激發(fā)被測(cè)樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì)放射出二次X射線(xiàn)，并且不同的元素所放射出的二次X射線(xiàn)具有特定的能量特性或波長(zhǎng)特性。探測(cè)系統(tǒng)測(cè)量這些放射出來(lái)的二次X射線(xiàn)的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將探測(cè)系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類(lèi)及含量。X射線(xiàn)照在物質(zhì)上而產(chǎn)生的次級(jí) X射線(xiàn)被稱(chēng)為X射線(xiàn)熒光。

  設(shè)備特點(diǎn)：

（1）分析速度高：測(cè)定用時(shí)與測(cè)定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測(cè)完樣品中的全部待測(cè)元素；

（2）X射線(xiàn)熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無(wú)關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒(méi)有關(guān)系（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）；

（3）非破壞分析：在測(cè)定中不會(huì)引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì)出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象，同一試樣可反復(fù)多次測(cè)量，結(jié)果重現(xiàn)性好；

（4）X射線(xiàn)熒光分析是一種物理分析方法，所以對(duì)在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析；

（5）分析精密度高；

（6）制樣簡(jiǎn)單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。